良好 的发 展 空 间 和 市 场 需 求 为 我 国集 成 电 路 及 相 关 产业 的发 展 带来 了 巨大 的 国产 化 机 遇 ，比如 对集 成 电路产业发展起着重要支撑作用 的电子化 工新材料硅基板 、光刻胶 、电子湿化学 品等 ，AG平台真人 真人AG 平台官网一直依 赖进 口，严重影响 了我 国集成电路产业的发展 。因 此 ，电子 化工 新材 料产 业正 处 于发 展机 遇期 。
集 成 电路 制造 用 主 要材 料 方 面 ，如 硅单 晶材 料 的直 径 经 历 了 １、２、３、５、６、８英 寸 的 历 史 进程 后 ，目 前 国 内外 已经 能够 成 熟 生 产 ８英 寸 和 ｌ２英 寸 硅 片 ， １６英寸和 １８英寸的硅单晶及其设备正在开发之中 ， 预 计 ２０１８年左 右 １８英寸 硅片 将投 人生 产 。
子化 工 新 材 料更 新 换 代 速度 不 断 加 快 ，企 业 科 技研
目前 ，光刻 胶 在 中低 端 市 场 已具备 与 国外 产 品 发水 平 、品质 管 理 、人 才 建 设 与 日俱 增 ，企 业 前 期及
２０１６年第 ２３卷 第 ２期 化 工生 产与 技术 ＣｈｅｍｉｃａｌＰｒｏｄｕｃｔｉｏｎａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ
田志扬， 赵 晓亚，范文春 。 （１．浙江凯圣氟化 学有限公司，浙江 衢 州 ３２４００４； ２．浙江巨化新材料研 究院有限公 司，浙江 临安 ３１１３０５）
２０１５年 ，全球集成 电路 的销售额为 ３３５２亿美 元 ，预 计 未 来 ｌ０年 ，将 以平 均 每 年 ９％的速 度 增 长 。 集 成 电 路 的 集 成 度 和 产 品 性 能 每 １８个 月 增 加 １ 倍 。据 专 家 预 测 ，今 后 ２Ｏ年 左 右 ，集 成 电路 技 术 及 其产品仍将遵循这一规律发展 。
虽然 近 年 来 全球 经 济 不 景气 ，但 我 国集 成 电路 行业实现快速发展 ，原因是我 国在集成 电路产业方 面存 在 需 求 巨 大 与 产 业 弱 小 的反 差 。我 国集 成 电 路 行业 的进 口额 已超过 原油 ，成 为第 １大 进 口商 品。２０１５年 ，我国集成电路进 口额 ２３０７亿美元 ，出 口额 ６９３亿美元 ，贸易逆差 １６１４亿美元 ，对外 依存 度 达 ７０％。尤其 是 关键 集成 电路 ，如 通 用计算 ＣＰＵ、 存储器 、通讯芯片 、高端显示器件 、各类传感器等需 要 大 量 进 口。然 而 ，同期 我 国集 成 电路市 场 规 模 创 纪录地 达 到 ｌ１０２４亿元 ，同 比增 长 ６．１％。
竞 争 的 能力 ，在 ６英 寸 、０．１ ｍ生 产 上 已基 本 实现 国 持续投入较高，经营难度较大 。
２０世纪 ８０年 代 中期 ，我 国集 成 电路 的加 工水 平 为 ５ｍ，其后 ，经历 了 ３、１、０．８、０．５、０．３５、０．１８、０．０９
ｍ的水平 ，目前 已经 成 功掌 握 ４５ｎｍ生产 技术 。 国 内制造业 龙 头 中芯 国 际也在 ２０１５年顺 利 突破 ２８ｎｍ 制 程 工 艺 ，开 始 进 入 量 产 阶 段 ，这 是 目前 代 表 我 国 最 先 进 的工 艺 技 术 ，与 国外 企 业 已经 具有 的 １０ｎｍ 先 进技术 相 比落 后 ２—３代 。AG真人 AG平台
集 成 电路 的升 级 换 代 需 要 相 应 电 子 化 工 新 材 料 的技 术 升 级 ，因此 伴 随集 成 电路 的发 展 ，电子 化 工 新材 料也 必须 不 断创新 ，满 足 市场需 求 。 ２．１ 湿化 学 品
湿化 学 品又 称高 纯 试 剂 ，主 要用 于大 规模 集 成 电路 、平 板 显 示 屏 湿 法 工 艺 、太 阳能 光 伏 硅 板 蚀 刻 等 过 程 。 目前 我 国的湿 化 学 品在 工 艺 技术 平 台 、市 场表现等方面都取得 了较大的进展 ，已逐步进人一 些 高 端领 域 。细分 来 看 ，４．５代 及 以下小 尺 寸平 板显 示 、光 伏 、８英 寸及 以下 ４５ｎｍ线 宽 的集 成 电路 用 湿 化 学 品基本 实 现 国产 化 ，全 面替 代进 口。如 代表 性 企 业 浙 江凯 圣 ，其生 产 的 高纯 试 剂 销售 占国 内平 板 显示 、光伏 用市 场 的 ３０％，部分 产 品 已成 功 应用 于 中
摘要 分析 了国 内外集成 电路发展 现状和趋 势，指 出我 国集成电路产业将进入 快速发展 阶段 。针 对我 国配套 的电子化 工新 材料发展现 状 ，以及该 产业 的特征 ，提 出发展我 国高 纯 电子化 工新 材料的迫切性和 对策建议 ，认为 国家应进 一步加 强对 国内有基础 的企业技 术创新 的支持 ，企业要 引进该产业 高层 次人 才 、同时培养 自己优 秀的人 才队伍 ，通过产业 重组 、联合 ，培 养若干 国家级的 电子化工新材料 优 秀企业 ，大力推广 节能减排 、低碳 生产 和循环利 用技术 ，努力促 进 电子化 工新材料行 业 内企 业实现清洁化 生产 、循环化发展 。 关键词 集成 电路 ；电子化 工 ；新材料 ；问题 ；看法 中 图 分 类 号 ＴＱ０７２ 文 献 标 识 码 Ａ ＤＯＩ１０．３９６９６．ｉｓｓｎ．１００６—６８２９．２０１６．０２．００６
