电子化学品（@.5:496*):=;5):-.3），国际上没 有做过严格的定义，通常是指为电子信息产业配套 的专用化工材料。主要包括集成电路（2=）和分立 器件、光 电 子 器 件、 印 制 电 路 板 （A=B）、 液 晶 显 示器 件（C=(）、电 阻、电 容、显 像 管、电 视 机、 计算机、收录机、录摄像机、激光唱盘、音响、移 动通讯机、传真机等的电子元器件、零部件和整机 生产与组装用的各种化工材料。在化工行业中，它 属于精细 化 工、化 工 新 材 料 的 范 畴；在 电 子 行 业 中，它是电子材料的一个重要分支。此外，因它涉 及电子、冶金等领域而属于边缘料学。电子化学品 常称为电子化工材料，其特点是品种繁多，质量要 求严，对环境、包装、运输、贮存的洁净度要求苛 刻，产品更新换代快，开发资金投入大，研制难度 大，产品附加值高，用量相对较小等。
液态抗蚀剂有9种类型，即自然干燥型、加热 固化型、AB 固化型和感光成像型。前’种类型抗 蚀剂是用丝网印刷方法制作电路图形，主要适用于
线宽在-,,!. 以上的单面 45 的生产。后一种是 用光致成像的光刻工艺制作电路图形，适用于制作
精细、高密度双面和多层 45。国内现有:&家 厂商生产液 态 抗 蚀 剂， 年 产 量 约 *,,3， 不 能 完 全 满足国内 45 制造需求，尤其是液态光致成像抗 蚀剂，年用量近-,,3，主要靠进口。
才能具 有 所 需 的 电 性 能。 因 掺 杂 剂 是 有 控 制 地 加
6%7公司与上海吴淞化工厂合资建立的上海比欧西 气体公司（-6%7）、与天津华北氧气厂合资建立的 天津伯克气体公司及在张家港建立张家港 6%7 气 体设备公司等；法国液化空气公司在华建了4家特 气合资企业；美国空气产品和化学品公司（)37C） 在华也建了4家合资企业；日本岩谷产业、美国普 莱克 斯 （3*DED.*）、 日 本 氧 气 公 司、 德 国 林 德 公 司 也纷纷在华建立合资企业。与合资企业相比，国内
阻焊 剂 的 年 用 量 约 *,,3。 其 中 热 固 型 占 -,7，AB 光 固 型 ’’/’7，感 光 成 像 液 态 阻 焊 剂 *’/’7，后者需求近年增长最快。除阻焊剂外，还 有字符油墨、导电油墨等。目前网印油墨只能满足
湿法工艺 材 料 涉 及 到 &, 多 种 专 用 化 学 品， 自 供量仅 *,7 左 右， 其 余 主 要 靠 进 口。 这 类 材 料 主 要包括电镀用化学品和用于显影、蚀刻、黑化、除
45在全 世 界 占 电 子 元 件 总 产 值 和 销 售 额 的 *67*87，居电子元件首位。也是我国电子化学 品中发展最快的品种，年增长率超过 *&7。目前 国内已有45生产厂家约9:家（华南*&,家，华 东*-家，华北:,家，其它*,,家）。内地和香港 的 45年总产值达*8亿美元，占世界 45总产值 的6/-87， 仅 次 于 日 本、 美 国 和 台 湾 地 区， 居 世 界第四位。45 及覆铜板（44;）市场越来越大， 要求越来越高。我国*888年 45 产量为9,,万 .-，较*88&年增长97；覆铜板材料产量约为*万3，铜 箔 ’,,3，玻 璃 纤 维 布（#）约 6,,, 万 .。此外，纸基覆铜板材料———桐油改性酚醛树脂 一般由制造纸基覆铜板厂家自己生产，全国产量约
目前我国电子化学品所需品种近$万种，占各 类电子材 料 品 种 的 DEF； 国 内 从 事 电 子 化 学 品 研 制生产的骨干企业已发展到 !&& 多家，职工近万 人；国内能工业化生产或能提供批量生产的产品品 种有近!&&&种。如集成电路（2=）E! 技术生产 用的 ’&D 种 化 学 品 中 已 能 提 供 $%D 种，占 #&F； ’! 技术用的大部分品种已能提供；!! 技术用的 品种也已 有 很 大 进 展。 其 包 括 光 致 抗 蚀 剂 类 !& 多个品种、数!&个规格；高纯特种气体和 GH 源
7G,2.1D85）。在半导体 制 造 过 程 中， 使 用 这 种 试 剂 的工序主要 是 洗 净 （ 包 括 干 燥 ）、 光 刻、 蚀 刻、 显
工材料的研究与开发工作，主持和参加了多个项目研制工作，有些已通过“省、部”级鉴定，同期发表论文多篇。
!#胶）、聚肉桂叉丙二酸乙二醇酯聚酯胶、环化 橡胶型购胶（相当于 $%#—&’胶）和重氮萘醌磺 酰氯 为 感 光 剂 主 体 的 紫 外 正 型 光 刻 胶（相 当 于
作者简介：吴坚，女，高级工程师。现任无锡市化工研究设计院科研产业管理处副处长，兼任全国电子化工材料信息站副站长、中国电子材
万料行方业数协据会电子专用精细化工与高分子材料分会副秘书长、中国感光学会辐射固化行业协会理事。自!#$年以来一直从事电子化
#09 板 质 量 符 合 美 军 标（%;0?0*’898@）， 达到国外同类产品水平，并获 A;认证。该公司目 前被广东省科委认定为“高新技术企业”。
目前我国已成为 45 的生产和出口大国。但 按 45 的 面 积 计 算，单 面 板 占 :,7，双 面 板 占 --7，多层板占&7（因挠性板产量少，未统计在 内）。 以 万销方售数量据计， 单 面 板 占 -’7， 双 面 板 占
E&多种$&&多个规格；超净高纯试剂$’种E个档 次；塑封材料 ’ 大 类 !& 多 个 品 种 等。 电 子 化 学 品 是被原 化 工 部 列 为 优 先 发 展 的 高 技 术 产 业Байду номын сангаас和 “ 九 五”期间重点发展的精细化工材料之一。
电子信息产业是目前发展最为迅速的高新技术 产业，已跃居世界第一大产业，成为推动全球经济 增长的主要动力，电子信息产业水平已成为衡量一 个国家综合水平的重要标志之一。电子化学品与重 化工、轻化工相比，虽然其产量、产值几乎是微不 足道的，但对电子信息产业来说，却是不可缺少的 基础支撑产业，发挥着举足轻重的作用。可以毫不 夸张地说，任何电子信息新产品的问世，都少不了 电子化学品的贡献。没有电子专用新材料的发展和 技术突破，就不可能有电子产品的更新换代和新产 品的不断涌现。我国目前电子化学品需求旺盛，不 仅国内市场存在巨大需求，而且国际市场同样蕴藏 着较大商机。但是我国电子化学品大多为中低档产 品，总体水平与 国 外 先 进 水 平 相 比 尚 有!&!E 年 的差距，高精尖材料大多要靠进口，每年仅元件及 材料进口额就 达 D& 亿 美 元 以 上。 电 子 化 学 品 这 种 供需现状，与我国电子信息产业已升居世界第七， 将成为半导体大国的地位极不相称。
()—*’,）。其中紫外线负胶已国产化，紫外线正 胶可满足-!. 工艺要求，深紫外正负胶（聚甲基 异丙 烯 基 酮、 氯 甲 基 聚 苯 乙 烯， 分 辨 率 ,/ ,/’!.）、电 子 束 正 负 胶 （ 聚 甲 基 丙 烯 酸 甲 酯 0 甲 基丙烯酸缩水甘油酯0丙烯酸乙酯共聚）（分辨率 ,/-,/*!.）、1 射线二 氯丙 烯 酸， 分 辨 率 ,/-!.）， 可 提 供 少 量 产 品。 光 刻胶目前国产能力约为*,,多3。据国家有关部门 预测，到-,,年微电子用光刻胶将超过-,,3。 !! 印制电路板（#$%）板材
!’ 特种电子气体 电子特种气体不但用于半导 体 工 业，还 用 于
;4H 分立器件、非晶硅太阳能电池和光导纤维的制 造。高纯气体中 C-、@-、(I等气体在电子工业中 主要用作稀释气和运载气；而硼烷（5-@6）、磷烷 （@’）、砷 烷（(J@’）等 气 体 主 要 用 作 气 体 掺 杂 剂。
净”，即 特 气 中 粒 子 和 金 属 杂 质 有 极 严 格 的 要 求。
45化学品可分为基板用材料和加工用材料类，占 45 总 产 值 的 6-/9,7， 其 中 基 板 材 料 -/,7，加工材料 ’6/867。基 板 材 料 中 用 量 最 大的是 # 类板材。广 东 东 莞 生 益 科 技 股 份 有 限 公 司是国内最刁的 # 类覆铜板生产厂家，主产品为 #09覆铜板，年生产能力为9,,万 .-，-,,,年 跃升至产量6,,万 .-，产品&,7出口，主要销往 香港、日本、台湾以及东南亚等地。该公司生产的
9&7，多层板占-87。而世界 45 的构成是单面 板:/87，双面板-6/*7，多层板667。从世界发 展趋势来看，我国应当尽快改变生产单面板为主的
剂、AG平台真人 真人AG 平台官网液态光致抗蚀剂；（-）阻焊剂；（’）湿法工艺 材料。其中干膜抗蚀剂用量最大，占总量的8,7。 近年来我国干膜抗蚀剂的年使用量约*,,万 .-， 而目前国内干膜抗蚀剂产量约*,,万 .-，远远不 能满足国内 45制造的需求，大部分靠进口。
