电子化学品是电子工业中的关键性基础化工材料，电子工业的发展要求电子化学品与之同步发展，不断地更新换代，以适应其在技术方面不断推陈出新的需要。特别是在集成电路（IC）的细微加工过程中所需的关键性电子化学品主要包括：光刻胶（又称光致抗蚀剂）、超净高纯试剂（又称工艺化学品）、电子特种气体和环氧塑封料，其中超净高纯试剂、光刻胶、电子特种气体用于前工序，环氧塑封料用于后工序。这些微电子化工材料约占IC 材料总成本的20%，其中超净高纯试剂约占5%，光刻胶约占4%，电子特种气体约占5%-6%。

　　工业气体大致可以分为两大类别，即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。一般工业气体要求生产量大，但对气体的纯度要求不高。特种气体则是用途有别于一般气体的气体，是一个笼统的概念。它在纯度、品种、性能方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。一般认为，特种气体是由电子气体、高纯石油化工气体和标准混合气体所组成。另外，在半导体制造业中，气体还可以分为大宗气体和电子气体，大宗气体是指集中供应且用量较大的气体，如N2、H2、O2、Ar、He 等。电子气体主要是半导体制造的每一个过程如外延生长、离子注入、掺杂、刻蚀清洗、掩蔽膜生成所用到的各种化学气体，如高纯SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCI3、BF3、HCI、CI2等，又可称为电子特种气体。

　　第一阶段：工业气体开始进入商业领域。18世纪末，科学家们通过化学方法把氮气、氧气等从空气中分离出来，为工业气体行业奠定了基础。行业初期，氧气主要被用于医用领域，在19世纪末开始进入焊接等商业用途。同一时期，乙炔被发现，并逐渐成为常用的焊割气体，随后乙炔被发现能够溶于丙酮，从而使乙炔的远途运输成为可能，进一步推动了乙炔的商业应用。

　　第二阶段：工业气体行业日趋成熟。分馏加工方法的发明和使用，大大降低了工业气体的生产成本，加速了工业气体的产业化进程。20世纪中期，两次世界大战和运用氧气、乙炔焊炬切割的技术有力地推动了工业气体需求的增长。同时，钢铁企业出于减少碳与磷的含量、提高钢铁产品质量的考虑，放弃了早期的空气喷射法而改用氧气喷射法，新方法的采用使1965年全球氧气产量比1960年增加了10倍。此外，氮也被大量用作惰性“覆盖剂”，推动了气体生产设备的大规模兴建。

　　第三阶段：工业气体行业持续增长。20世纪80年代电子产业的兴起推动特种气体的需求提高。金属预制及生产等传统市场消费增大，加上在保健、电子、饮料和食品包装等终端市场增加新的应用领域，气体行业在20世纪90年代持续增长。能源领域在过去数年成了气体行业发展的最大动力。气体作为能源在众多行业得到广泛运用，这使气体需求在21世纪初持续走强。

　　电子特种气体是超大规模集成电路、平板显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可或缺的原材料，它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业服务的电子气品种繁多，用途五花八门，它的分类方法亦较为复杂。一般可按电子气用量的多少分类，也可以按电子气的用途分类。由于制造上的需要，工厂使用了许多种类的气体。一般我们皆以气体特性来区分，可分为特殊气体及一般气体两大类。前者为使用量较小的气体，如SiH4，NF3等，后者为使用量较大的气体，如N2，CDA（干燥压缩空气）等。在半导体制造中，需提供各种高纯度的一般气体用于气动设备动力、化学品输送压力介质或用作惰性环境，或参与反应去除杂质度等不同功能。

　　根据电子气的不同用途，电子气可分为十多类，例如外延晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相沉积气、喷射气、离子注入气、等离子刻蚀气、载气、吹洗气、光刻气、退火气、焊接气、烧结气和平衡气等。表2 列出了电子工业、半导体器件制备工艺中所用电子气的范例。

　　硅烷熔点-185°C，沸点-112°C，在空气中会自燃，与空气可形成爆炸性混合物，空气中的爆炸极限为体积分数0.8%~98.0%；室温下可以卤素或重金属卤化物激烈反应。硅烷加热到400 摄氏度开始分解为非晶态硅和氢气，600 摄氏度以上分解生成晶体硅，半导体工业主要采用该方法来生产多晶硅。硅烷毒性很大，会强烈刺激人的呼吸道，中毒者可能出现头痛和恶心等症状，吸入量较大时会引起呼吸及淋巴系统产生生理病变。硅烷是电子气体中应用最广、影响最大的气体品种，因为硅烷易燃、易爆、纯度要求很高，技术难度很大，所以硅烷也是一个国家气体实力的重要标志之一。单硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅等多种金属硅化物，因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要电子特种气体。单硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳能电池，平板显示器等，并且是至今为止世界上唯一的大规模生产粒状状高纯度硅的中间产物。硅烷制造可分为硅化镁法、氢化铝锂法和UCC工艺（非均化法）。

　　AsH3在室温和大气压下是一种无色、剧毒、可燃气体，有大蒜气味。与空气混合形成可燃混合气。砷烷微溶于水和有机溶剂，易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等起反应生成砷的化合物。砷烷在室温下稳定，在230-240°C下开始分解。砷烷是一种溶血性毒物，可导致神经中毒。AsH3是GaAs、GaAsP生长，N型硅外延、扩散、离子注入掺杂等不可缺少的基础材料，因其剧毒、纯度要求高，合成、净化难度大等因素，目前能制造AsH3的国家数量不多，同时由于AsH3的剧毒性，在当今的国际大背景下，进口十分麻烦。

　　AsH3是制造半导体化合物砷化镓的重要材料，迄今为止尚无AsH3的替代用。砷烷在国内是紧俏产品，尽管许多单位声称已经拥有砷烷生产技术，但砷烷及其含砷化合物均属剧毒品，因此很难满足国家系列生产许可。在目前国内的安全大背景下，很少有企业愿意冒风险开展此类工作。2015年的天津爆炸事件对我国AsH3的国产化更是增加了难度。从技术层面看合成砷烷与合成磷烷有许多相似之处，唯一的差别就是二者的毒性之别。2018年，南大光电公司控股子公司全椒南大光电生产的高纯磷烷、砷烷纯度达到6N级别，产品依托母公司成熟的销售渠道和优良的技术支持，已在LED行业取得主要的市场份额，贡献了较好的销售业绩。

　　一氧化二氮是一种无色有甜味气体，在一定条件下能支持燃烧，但在室温下稳定，有轻微麻醉作用，并能致使人发笑，俗称笑气。一氧化二氮作为电子气体主要用于半导体光电器件研制生产的介质膜工艺，是直接影响光电器件质量的不可替代的关键点子气体。高纯一氧化二氮是PECVD工艺积淀SiO2膜，掩蔽膜、钝化膜、器件抗反增透膜的重要原料。N2O纯度直接影响到SiO2膜纯度，如果杂质含量高，沉积的SiO2膜颗粒多、不光亮，产生表面折射率不均匀等现象，不利于光刻工艺的进行。如果N2O中微量水含量高，可造成SiO2膜含氢量大，致密性达不到要求，导致器件工作状态不稳定，抗电磁辐射能力不强。因此为保证光电器件产品的质量和可靠性，要求一氧化二氮纯度必须在5N以上。

　　4、氨气（NH3）：电子工业中氮化膜的成膜气体，是化学气相沉积重要的“氮”源

　　在微电子工业中，高纯氨是不可缺少的原材料之一。它主要用于半导体器件、集成电路制造中的氮化硅掩膜生长过程和制造磷化镓绿色发光材料的掺氮过程。在硅片沉积生长氮化硅掩膜时，高纯氨中即使仅含百万分之五十的微量水分时，得到的只是氧化硅，而不是所需要的氮化硅。同样含有微量氧（大于百万分之三）的氨气用于磷化镓掺氮会带来深能级的氧杂质，使二极管发出的绿光（波长500nm）中掺杂有红外光（波长900nm）和红光（波长700nm），高纯氨中的油分等其它杂质对半导体器件的危害也相当大。

　　在三氟化氮熔点-208.5°C，沸点-129°C，沸点时液体的相对密度1.89。NF3是三卤化氮中最稳定的一种，但和水、氢气、氨气、一氧化碳或硫化氢等的混合气体遇火花即发生猛烈爆炸。高纯NF3几乎没有气味，它是一种热力学稳定的氧化剂，大约在350°C左右可分解成为二氟化氮和氟气，高温下能与许多元素反应，可作为游离基的供给源。作为半导体工业气体清洗剂的全氟烃（PFC）对环境有害，近年来有逐渐被NF3取代之势。使用比F2稳定且易于处理CVD箱，与PFC相比可减少污染物排放量约90%，且可显著提高清洗速度，从而可提高清洗设备能力约30%。NF3也是微电子工业中优良的等离子刻蚀气体，对硅和氮化硅刻蚀，有更高的刻蚀速率和选择性，而且对表面无污染，尤其在小于1.5μm的集成电路材料额是可重，NF3有非常优良的时刻速率和选择性，在被刻蚀表面不留任何残留物质。

　　在半导体材料中，电子气体是仅次于大硅片的第二大市场需求，电子气体在2016年的半导体材料市场占比达14%。随着半导体产业的发展，电子气体市场也随之增长。2016年全球电子特种气体市场规模为38.9亿美元，并于2018年增长至45.12亿美元，较2016年增长15.93% 。而随着全球半导体产业链向国内转移，国内电子气体市场提速明显，远高于全球增速。根据中国半导体行业协会统计的数据，2010-2018年，我国的电子特殊气体行业的市场规模一直维持着高速发展的趋势，已在2018年达到121.56亿元，较2017年同比增长11.19%。

　　近年来国内半导体市场发展迅速，在建和未来规划建设的产能为电子气体提供了广阔的空间。随着半导体集成电路技术的发展，对电子气体的纯度和质量也提出了越来越高的要求。电子气体的纯度每提升一个数量级，对下游集成电路行业都会产生巨大影响。2014 年国家发布了《国家集成电路产业发展推进纲要》并设立了集成电路产业投资基金，根据规划，我国集成电路销售额年均增速将保持在20% 左右，预计2020年将达到8700 亿元。若国内半导体集成电路用电子气体保持同样稳定的增速，其2020年市场规模将在2018年的基础上增长44%。

　　工业气体市场集中度高，寡头垄断明显经过多年的发展和兼并收购，全球工业气体市场已经形成了少数几家气体生产企业占据全球市场大多数份额的市场格局。根据SAI 公司的统计数据：2013年全球工业气体市场上，前四大生产厂商全球工业气体市场上，前四大生产厂商——法国液化空气集团（ALAL）、德国林德集团（Linde）、美国普莱克斯集团（PRAXAIR）和美国空气化工产品集团（AirProducts）共占据75%的市场份额，市场高度集中。2018年10月23日，林德集团宣布与美国普莱克斯集团完成对等合并，成为全球最大的工业气体业务供应商业务供应商，同年合并后三大气体巨头（林德、液化空气、空气化工）占据全球工业气体外包市场76.71%的的份额。相比于传统的大宗气体，电子气体行业由于具有较高的技术壁垒，市场集中度极高。2018年全球半导体用电子气体市场中，美国空气化工、美国普莱克斯、德国林德集团、法国液化空气和日本大阳日酸株式会社等五大公司控制着全球90%以上的市场份额，形成寡头垄断的局面。在国内市场，海外几大龙头企业也控制了85%的份额，我国电子特气受制于人的局面十分严重。

　　国内外企业市场份额占比悬殊的主要缘由之一便是难以在短期内弥补的技术差距。特种气体生产是一个系统工程，涉及到气体的深度提纯技术、痕量杂质分析检测技术、气瓶的内表面处理技术、有毒尾气的解毒处理技术等。电子气体技术无法攻克的原因有很多：

　　一是深度提纯技术难度较大。据浙江大学半导体材料研究所研究员京松介绍，以硅烷为例，将其纯度由4N提纯到6N中间有漫长的道路，除了要解决普通气态杂质的纯化问题，还要将金属元素净化到10-9级和10-12级，为此要开发新的工艺或新的吸附剂、催化剂。

　　二是包装盒储运跟不上。超高纯气体的生产和应用都要求使用高质量地气体包装储运容器、相应的气体输送管线、阀门和接口，以避免二次污染的发生。国际知名的气体公司均独立开发了适用于当代电子气体包装储运的气瓶和气瓶处理技术。国内在这方面尚未进行过系统研究开发工作，与国外差距甚大。

　　三是分析检验观念落后。国外已研发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器，对电子气体中危害较大的杂质组分、颗粒以及金属离子等退出了多种分析仪器。而我国在“产品是生产出来的，不是检测出来的”这一指导思想下，对电子气体生产应用领域分析检测技术的研究开发工作不够重视。目前国内的分析测试技术水平尚不能与国际接轨。

　　虽然从技术层面看，国内有些企业已经基本具备了生产高纯电子气体的能力，但却无法进入集成电路等领域的主要原因有三点：

　　一是本土电子气体的生产和供应商规模较小，不能够为用户提供全方位的服务。和国际巨头相比，国内供应商总的来说体量较小，目前大多通过低价竞争的方式占领有限的市场份额，本土供应商之间竞争激烈，从而导致价格快速下滑，利润很薄，甚至亏损。

　　二是电子气体，特别是高纯电子气体，是影响电子器件的可靠性和成品率的重要因素。随着电子信息技术的飞速发展，对电子气体的质量稳定性要求也越来越苛刻。如果一种电子气体产品在集成电路制造工艺中通过验证，这样的纯度和质量要求就被锁定了。芯片制造商不希望看到产品的质量有任何变化，即使是纯度的进一步提高也可能产生意想不到的问题。所以电子材料生产过程的任何改变，包括更换原材料供应商、生产工艺的变动等，都必须及时通知芯片制造商，根据情况决定是否重新进行验证。国内企业生产的电子气体发生过多次质量事故问题，影响了芯片制造商对本土电子产品的信任度。

　　三是国内电子气体产品的包装、储运未能和现代电子工业的要求接轨。为了节省成本，低价竞争，许多企业在包装、储运等方面降低了要求，因此出过种种问题。

　　特种气体市场规模快速增长。经济新常态下更加强调经济结构的优化升级，集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆、新能源汽车、航空航天、环保、医疗等产业对中国经济增长的贡献率将愈加突出。特种气体作为上述产业发展不可或缺的关键性材料，其市场规模将继续保持高速发展。根据卓创资讯统计，2010-2017年中国特种气体市场平均增速达15.48%，2017年中国的特种气体市场规模约178亿元，其中集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等半导体领域的特种气体市场规模约100亿元。同时，根据卓创资讯的预计，2018-2022年中国特种气体市场规模的增速仍将高达15%以上，到2022年中国特种气体市场规模将达到411 亿元。特种气体将为中国新兴产业的发展注入新动力。而在全球范围内，特种气体同样保持了较高的增速，2017 年全球特种气体市场规模达241亿美元，较2016年同比增长11.55%，特种气体市场空间广阔。

　　特种气体国产化为大势所趋。自20世纪80年代中期特种气体导入中国市场，中国的特种气体行业已经经过了30年的发展和沉淀。随着不断的经验积累和技术进步，业内领先企业已在部分产品上实现突破，达到国际通行标准，逐步实现了进口替代，特种气体国产化具备了客观条件。在需求层面，国内近年连续建设了多条8寸、12寸大规模集成电路生产线、高世代面板生产线等，为保障供货稳定、服务及时、控制成本等，特种气体国产化的需求迫切。此外，近年来国家相继发布《“十三五”国家战略新兴产业发展规划》、《新材料产业指南》等指导性文件，旨在推动包括特种气体在内的关键材料国产化。因此，在技术进步、需求拉动、政策刺激等多重因素的影响下，特种气体国产化势在必行。

　　空气化工产品有限公司(纽约证交所证券代码APD) 在全球范围内为科技、能源、医疗保健和工业制造等领域的客户提供独特的产品、服务、和解决方案。作为世界上唯一的同时生产气体产品和化学品的公司，除了工业气体产品、工艺和特种气体产品之外，还提供相关设备，特种化学品和化学中间体产品。自1940年创立以来，空气化工产品公司不仅在主要市场上居于领先地位,而且一直以创新的企业文化、完善的管理和对环境及安全的承诺得到广泛的认可。

　　空气化工产品有限公司于1987年进入中国，在深圳蛇口设立了一家气体工厂，这在当时是西方的气体公司在中国成立的第一家合资企业。在随后的时间里在全国的主要城市包括香港和台湾地区相继建立了30 家企业，分布在北京、上海、广州、天津、南京、烟台、无锡、宁波、深圳、珠海、福州、香港、台湾等地。在中国，空气化工产品公司也是中国最大的工业气体产品公司之一，通过提供一系列高质量的气体产品包括普通空气气体产品如氧气，氮气和氩气，到特种气体如氦气，氢气和电子特气等，为各行业大量的本地和跨国企业客户提供产品和服务。

　　作为一家拥有百年历史的财富300强企业，普莱克斯（纽约证券交易所上市，证券代码PX）是北美和南美洲最大的工业气体生产商，也是全球最大的工业气体供应商之一。普莱克斯在全世界30 多个国家设有气体生产厂，拥有27,000名员工。公司致力于帮助客户获取更高利润，提高生产效率以及环保效益。普莱克斯生产、销售和配送大气气体、工艺气体、特种气体、高性能表面涂料以及相关服务和技术，客户行业遍布航空航天、化工、食品饮料、电子、能源、医疗、制造以及金属等等。作为全球工业气体行业最大的制造商之一，普莱克斯于1988年进入中国市场，并于1992 年在北京设立了首家合资企业。

　　作为目前在中国最佳的工业气体生产商和供应商之一，普莱克斯中国总部设在上海，至今在国内已设立13家独资企业和11家合资企业，生产销售网点覆盖华北、华东和华南地区,在华员工超过1000 人。另外，普莱克斯亚洲区域总部、亚洲业务技术支持中心、亚洲生产运行和质量管理部门均设在上海。普莱克斯集团在中国有超过20 家附属企业分布在华北华东华南地区，为中国的企业提供氧气、氮气、氩气、氦气、氢气、笑气、二氧化碳及各种混合气、标准气、压缩气体、特气以及相关的专用材料和服务等。根据客户的不同用量和现场使用情况,产品的供应方式可以采用液态、钢瓶气、长管拖车、管道供气及客户现场制气等几种形式，具有完善的安全、质量、环境、技术、客户服务体系。

　　公司2018 年上半年销售额达60.6亿美元，并于同年与德国林德集团完成了900亿美元的对等合并，合并后的集团取代了液化空气成为全球气体业务的主导力量。根据外媒数据显示，在剥离前，合并后的市场份额为33%。

　　液化空气集团是全球领先的工业、健康和环保气体供应商，业务遍及75 个国家，目前约有员工66000人。自1902年成立以来，集团始终将氧气、氮气、氢气和稀有气体作为其核心业务，并通过这些气体的应用不断拓展新的业务领域，以满足现在以及未来市场的需求。集团通过创新取得进步，实现有力的增长和稳定的业绩。液化空气集团将多种产品和技术相结合，不仅为客户提供有价值的应用和服务，而且也用来造福于社会。集团的创新技术被广泛应用于减少污染排放、降低工业能耗、AG平台真人 真人AG 平台官网自然资源的回收和再利用以及未来新能源的开发，如氢气、生物燃料或光伏能源以及用于医院、家庭护理和预防疾病感染的氧气产品等。液化空气集团不断探求气体在保护生命中所能提供的最佳用途，坚持走可持续发展的道路。2018年，集团的销售额达到210.11亿欧元，同比增长6.1%，其中气体和服务业务收入实现201.07亿欧元，同比增长5.2%，拥有近65%来自欧洲之外的业务。液化空气集团在巴黎泛欧证券交易市场上市（A类），同时是法国指股CAC40指数及道琼斯欧元区斯托克50指数的成员企业。液化空气是唯一一家进入2009年财富500强的气体行业公司。液化空气集团早在1916年就来到中国。最近15年间，公司业务不断发展，目前在中国已拥有大约2500员工。液化空气集团在华主要经营活动为：液空中国从事工业及医用气体的运营；液空杭州和鲁奇公司从事工程和制造业务，即在中国设计和制造空分装置以及建造制氢工厂。

　　液化空气集团的业务已覆盖中国大部分的工业区域：北部的北京、天津、辽宁和山东，华东的上海、江苏和浙江，并正在向中西部的湖北、四川和陕西以及华南的广东拓展。随着长期合同的不断签署，液化空气集团在华的大型工厂将从2004年的6家增加到2017年的近90家，拥有约4000在华员工。液化空气集团拟订了在华大规模投资计划，以满足不断增长的市场需求，并提供高效、环保和医疗保健的解决方案。2019年第一个季度，集团共实现全球合并销售109.52亿欧元，同比增长4.9%，这主要得益于天然气与服务业务的高销售额；工程与建筑的综合销售额略有下降，为-3.8%，这是由于投资决策增加后集团项目所占比例增加；全球市场与技术部继续保持强劲的发展势头，增长了10.7%；汇率影响为正面，为+ 2.5%。2019年第一季度末，对美国Tech Air的收购产生了+ 0.4%的重大范围影响。

　　世界500强集团--林德集团，作为全球领先的气体和工程集团，业务遍及全球100个国家，总雇员超50000人。林德集团是全球气体市场的领导者，提供种类广泛的压缩和液化气体以及各种化学产品。林德气体运用领域涉及钢铁生产、提炼、化学加工、环境保护、焊接、食品加工、玻璃生产和电子行业。集团同时也大力发展快速增长的医疗业务（如医用气体）和生态氢技术的研发。

　　在2018年，林德的销售收入约为281亿美元，同比增长5%。林德集团是第一个进入中国市场的国际气体公司，为中国企业提供的产品涉及气体相关方案和工程服务。林德集团的中国总部设在上海，共有约50个全资子公司和合资企业。林德集团在中国主要工业区运营超过100座工厂，雇员超过2,000名。

　　1、中昊光明化工院中昊光明化工研究设计院有限公司始建于1964年，是集科研生产、开发设计、技术服务、质量检定于一体的综合性研究机构，是我国重要的特种气体研究、生产基地。

　　服务的下业有信息技术、新能源、节能环保国家三大战略新兴产业，航天、军工电子、石油化工、煤化工、装备制造、环境保护、医疗、科学研究等国民经济支柱产业。

　　七一八研究所隶属于世界500强中国船舶重工集团公司，创立于1966 年，总部位于河北省邯郸市，是集军民产业的科研开发、设计生产、技术服务于一体的国家级科研单位。

　　七一八所不断加强技术创新，大力发展高新技术产业，建所获得省部级以上科技进步奖260多项，其中国家科技进步一等奖2项，授权专利近300 项。按照军民融合的发展要求，大力发展高科技产业，已形成电子特气材料、精细化工、空气净化、氢能产业、核电装备、节能环保、安防信息工程及特种装备等8大产业方向。

　　北京绿菱气体科技有限公司成立于2001年，主要为电子、照明、太阳能、医疗、国防、科研、冶金、建材等行业提供各种特种气体产品与服务，享有自营进出口权。公司全套引进美国气体生产、纯化、分装、混配、气瓶处理和气体分析的设备、工艺、技术和质量管理理念。

　　公司致力降低进口特种气体成本，采用散料进口，国内灌装的办法降低海运费用，加快气瓶的周转率；在北京建成了国内第一套高纯氯化氢分装系统，该系统经过两年多的运行，已为国内主要用户认同和接受，其产品的国内市场占有率超过50%。公司采用直接进口的方式获得了具有竞争性的产品。公司经美国最大气体供应商之一Airgas授权成为该公司在亚洲的地区经销商，代理其六氟乙烷、氧化亚氮、四氟化碳和高纯氦气、氩气、氮气、氢气等气体产品的销售业务。

　　南大光电是一家专业从事光电新材料——高纯金属有机源（亦称高纯金属有机化合物，以下简称“MO源”）研发、生产和销售的高新技术企业，是全球主要的MO源生产商。公司是国内唯一一家拥有自主知识产权并实现了MO源产业化生产（指每年MO源产能及产销量均达1吨以上，且质量稳定可靠，下同）的企业。MO源是制造LED、新一代太阳能电池、相变存储器、半导体激光器、射频集成电路芯片等的核心原材料之一。

　　在MO源的合成技术、纯化技术、分析检测、封装容器等方面已全面达到国际先进水平，成功打破国外在这一重要光电子原材料领域的垄断地位；产品种类也由最初的四种扩展到目前的十多种，产品纯度高于国际通用水平；在市场拓展上，公司产品已替代进口并远销中国台湾、韩国、欧洲、日本和美国等主流市场，客户群不断壮大，积累了如Osram、LG、Toyoda Gosei、首尔半导体、晶元光电、广镓光电、三安光电、士兰明芯、华灿光电、乾照光电、山东华光等一大批优质稳定的客户资源。

　　巨化集团是国内领先的氟化工、氯碱化工综合配套的氟化工先进制造业基地，主营业务为基本化工原料、食品包装材料、电子化学材料、氟化工原料及后续产品的研发、生产与销售，拥有氯碱化工、硫酸化工、基础氟化工等氟化工、电子化学材料必需的产业自我配套体系，并以此为基础，形成了包括基础配套原料、氟致冷剂、有机氟单体、含氟聚合物、精细化学品、电子化学材料等在内的完整的氟化工产业链，并涉足石油化工产业。公司成立21 年以来，经营发展稳健。公司已由基础化工产业企业逐步转型为中国氟化工领先企业，成为国内领先的氟化工、氯碱化工、煤化工综合配套的氟化工先进制造业基地，具有产业集群化、基地化、循环化、园区化特征，积累了空间布局、产业链、规模技术、品牌、市场、资源、管理等多项发展氟化工及化学新材料竞争优势，并形成产业协同、产业链高端化延伸的格局与趋势。依托公司原材料自给、研发积累、海外优秀技术和专家团队引进、财务、商业信誉等综合优势，以及产业协同优势，公司将进一步整合内外资源，加快公司电子化学品业务培育，优化产业结构，完善产业链，使公司迅速在电子化学品新材料领域形成国内领先优势。

　　广东华特气体股份有限公司（原名：佛山市华特气体有限公司）位于珠三角腹地佛山市南海区，创建于1999年，公司以广东佛山为产品研发基地，分别在广东、江西、浙江、陕西、湖北、湖南、香港等地设立了十余家全资子公司。现已成为国内最大的民营特种气体及相关设备供应商之一，同时产品出口到50余个国家和地区。公司专业从事气体及气体设备的研发和生产，气体产品覆盖普通工业气体、电子工业用气体、电光源气体、超高纯气体、标准气体、激光气体、医用气体、食品工业用气体等十几个系列共200多个品种，并不断研发新产品满足市场需求。

　　随着公司产品的纯度、精度和稳定度持续提高以及市场开拓的深入，产品获得了下游相关产业一线知名客户的广泛认可，并实现了对国内8寸以上集成电路制造厂商超过80%的客户覆盖率，解决了中芯国际、华虹宏力、长江存储、武汉新芯、华润微电子、台积电(中国)、和舰科技、士兰微电 子、柔宇科技、京东方等客户多种气体材料制约，并进入了英特尔(Intel)、 美光科技(Micron)、德州仪器(TI)、海力士(Hynix)等全球领先的半导 体企业供应链体系。

　　湖北和远气体股份有限公司，总部位于湖北宜昌，公司致力于各类气体 产品的研发、生产、销售、服务以及工业尾气回收循环利用。自 2012 年起， 公司依托气体分离技术将经营战略升级为“双翼战略”，即以工业气体产业为 基础，以节能环保产业为拓展方向。

　　公司的中长期发展战略为:在生产上不断开发新技术、加速迭代革新; 在产品结构方面不断进行调整，在气体终端应用技术上不断创新;加大以气 体分离为基础的节能环保相关领域技术研发力度，坚持技术引领、资源布控 的法则。目前公司有三项自主研发在研项目:氦净化设备回收污氩提取高纯 氩、氦质谱检漏装置排污口富氦回收和三塔吸附影响合成氨驰放气净化分离 稳定性，均是行业领先水平。

　　苏州金宏气体股份有限公司是专业从事气体研发、生产、销售和服务的 高新技术企业，成立于 1999 年，总部位于江苏省苏州市相城区潘阳工业园， 已经拥有大宗气体、电子特种气体两大类百余种产品，广泛应用于冶金、化 工、造船、电子、光纤通讯、机械制造、食品、医疗、太阳能光伏 、LED、 半导体等众多领域。

　　公司将特种气体作为研发重点，经过多年的自主研发，突破并系统建立 了以超纯氨提纯工艺技术、二氧化碳回收及高纯生产技术、超纯氢气纯化技 术、回收尾气提纯高纯氧化亚氮技术、深冷快线连续供气技术、高纯气体包 装物处理技术、安全高效物流配送技术等核心技术为代表的，贯穿气体生产、 提纯、检测、运输、使用全过程的技术体系，公司 2016 年至 2019 年上半 年依靠核心技术产生的收入占营业收入的比重在 85%以上。

　　公司已与国内电子半导体领域的众多知名企业建立了合作关系，例如集 成电路行业的晶方半导体、上海新傲、厦门联芯，液晶面板行业的京东方、 天马微电子、TCL 华星、中电熊猫(间供)，LED 行业的三安光电、聚灿 光电、乾照光电，光纤通信行业的亨通光电、富通集团，光伏行业的通威太 阳能、天合光能、隆基股份等。这些电子半导体客户的气体原材料原先主要 通过外资气体巨头供货，近年来逐渐转变为由内、外资气体公司共同供货， 且多年来与公司无重大产品质量纠纷，充分显示了对金宏气体产品技术先进 性的认可。

　　湖南凯美特气体股份有限公司位于湖南省岳阳市岳，公司成立于 1991 年6月11日，注册资本达 62,370 万元。经过多年的发展，公司已成为目前国内以化工尾气为原料，年产能最大的食品级液体二氧化碳生产企业。

　　公司已与 多家下游企业建立了长期、稳定的合作关系，产品市场占有率逐年上升。目前公司食品级液体二氧化碳产品已通过可口可乐和百事可乐的认证，被可口 可乐和百事可乐等公司确认为在中国的策略供应商，并为杭州娃哈哈集团、 屈臣氏集团、百威英博啤酒集团、珠江啤酒集团、青岛啤酒、华润雪花啤酒 等众多知名食品饮料客户和中国中车集团、中船重工集团武昌船舶重工有限 公司、中国船舶工业集团广州中船黄埔造船有限公司、武汉钢铁(集团)公 司、铜陵有色金属集团控股有限公司、三一重工、中联重科、山河智能、岳 阳林纸等特大型工业客户广泛采用。 公司拥有多项与二氧化碳、氢气等产品生产经营相关的核心专利技术， 如二氧化碳动态减压提纯工艺技术、低温容器复合材料保冷工艺、从炼化制 氢尾气中分离提纯二氧化碳、甲烷、一氧化碳和氢气的方法等。

　　唐山三孚硅业股份有限公司是一家资源综合利用，产业循环发展的高科 技化工企业，2017 年 6 月 28 日公司股票在沪市主板挂牌上市。公司主要产 品包括三氯氢硅、高纯四氯化硅、电子级二氯二氢硅、电子级三氯氢硅、氢氧化钾、硫酸钾等，产品广泛应用于光伏、光纤、精细化工、肥料、电子芯 片等领域。

　　在电子气体方面， 公司投资建设了年产 500 吨电子级二氯二氢硅产品和年产 1,000 吨电子 级三氯氢硅项目，产品主要应用于硅外延片的生产领域，原材料均来自公司 主要产品三氯氢硅。该项目可进一步延伸公司循环经济产业链条，原材料可 直接通过管道运送至项目生产车间，降低运输成本的同时，保证了原材料的 质量和供应的及时性。项目反应生成的副产物四氯化硅通过管道送回三氯氢 硅车间，实现了主要物料的循环利用。

　　江苏雅克科技股份有限公司是一家中国深圳证券交易所上市企业，主要 致力于电子半导体材料，深冷复合材料以及塑料助剂材料研发和生产。公司 通过多种方式参与到集成电路(晶圆制造及封装)、平板显示(包含 LCD 及 OLED) 等电子制造产业链各个环节，丰富产品链为客户提供多方位的 产品和技术服务，并积极探索新业务模式提升高附加值满足市场的需求。公司具有领先的深冷复合材料技术，针对以三航(航空、航天和航海)为代表的高端装备制备需求提供专业性的解决方案。雅克科技以磷系阻燃剂为主的 塑料助剂材料的世界主要供应商为客户提供更多有竞争力的产品和服务。

　　公司在阻燃材料、增强型阻燃绝热聚氨酯材料和半导体材料等业务板 块拥有较强的研发实力，在各自领域具备先进的技术和生产工艺。公司的技 术研发团队持续攻克技术难点，不断改良生产设备，改善技术工艺，提升产 品的品质和稳定性，保持了技术的先进性优势，努力将企业建设成为具有国 际竞争力的创新型企业。

　　中国燃气工业投资控股有限公司自 2007 年起开始营运，主要经营管道 工业气体及液化工业气体的供应。同时经营规模相对较小的液化天然气相关 业务，包括供应液化天然气和提供气体输送服务。 公司为中国领先的钢铁生产商河钢成员集团的数家成员公司独家供应 管道工业气体，已与河钢成员集团发展出根深蒂固且互惠互利的关系。主要 产品为空气分离装置生产的管道工业气体。 公司主要向非现场独立终端客户生产及供应液化工业气体。除涉及额外 液化加工程序外，液化工业气体的生产过程与管道工业气体的生产过程几乎 相同。因此，生产管道工业气体及液化工业气体时优化利用空气分离装置， 可加强创收能力，提高整体营运效率。 公司液化天然气相关业务包括供应液化天然气及提供气体输送服务。液 化天然气供应指我们生产及销售液化天然气产品。气体输送服务指提供焦炉 煤气压缩及输送服务。AG真人 AG平台