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电子行业关键性基础化工材料——电子级氢氟酸2023-10-10 14:20:43

  “电子氢氟酸在集成电路、半导体制作、太阳能光伏和液晶显示屏等领域应用广泛,是微电子行业生产所需的关键基础化工原材料之一。”

  电子级氢氟酸是微电子行业的关键性基础化工材料之一,主要用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)制造中,用于晶圆表面清洗、芯片加工过程中的清洗和蚀刻等工序。在太阳能光伏行业中,用于硅片表面清洗、蚀剂等领域。硅锭到硅片,再到电池片的第一道工艺程序:清洗制绒环节会用到产品。在液晶显示器行业,用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蚀剂等。在TFT—LCD、半导体产业中也被广泛使用。还可用作分析试剂、原子能工业化学试剂和制备高纯度的含氟化学品。

电子行业关键性基础化工材料——电子级氢氟酸(图1)

  将无水氢氟酸(国家标准)经化学预处理后,进入精馏塔通过精馏操作,得到的氟化氢气体经冷却后,在吸收塔中用超纯水吸收,并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化,随后经0.2μm以下超滤工序,最后在密闭洁净环境条件下(百级以下) 进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。

电子行业关键性基础化工材料——电子级氢氟酸(图2)

  目前国内外制备电子级氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等技术,这些提纯技术各有特性,各有所长。如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品,气体吸收技术可以用于大规模的生产。

  另外,由于氢氟酸的强腐蚀性,采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更严重,因此所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀AG平台真人 真人AG 平台官网性能力较强的材料来制造。

  电子级氢氟酸生产装置设计与工艺流程布置密切相关,垂直流向布置,原料(无水氢氟酸和高纯水)与中间产物可以依靠重力自上而下流动,高纯氢氟酸的制备在中部,产品过滤、灌装及贮存在底层。此布置可减少泵输送,节省能耗,降低生产成本,同时可避免泵对产品的二次污染。

  山东中天科技有限公司可承接电子级氢氟酸项目的总承包业务,为用户提供有针对性的个性化工艺与设备配置方案,提供一整套由工艺方案优化、工艺流程设计、设备配套设计、设备安装设计、设备安装现场指导、设备调试、生产调试、运行达标、生产与工艺工程师培训、岗位主操作工培训、化验工培训、原料与产品分析方法编制、生产过程中间分析方法编制、工艺操作规程编制的一整套技术支持。返回搜狐,查看更多AG真人 AG平台